В.И. Смирнов. Технология интегральных микросхем

Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах.

Издательство: Инфра-Инженерия
Год: 2023
Формат: pdf
Страниц: 244
Язык: русский

 

Скачать книгу (12,9 МБ):